近日,学院集成电路多功能实验实训室建设完成,现正式开放使用。实验室提供一体化集成电路教学、实验和实训平台,包括主控平台和实验用半导体参数测试仪及课程板卡。主控平台主要完成各类实验的设计,同时也是所有实验功能硬件板卡的承载基台。实验用半导体参数分析仪是实验测量与实验结果展示平台,同时也是各测试硬件板卡的承载基台,以及实验软件的承载基台。课程板卡基于紫光集团的器件和工艺产业资源长期迭代开发,已从28nm升级到14nm到7nm到5nm,并持续升级。目前配备的课程板卡可以进行二极管、双极型晶体管MOSFET、JFET、MESFET、HEMT、SOI、FinFET、TFT等器件的仿真及氧化、光刻、刻蚀、淀积、离子注入、扩散、退火和外延等工艺及器件制备仿真。实验室能完成半导体器件及工艺的实验设计教学,同时也能拓展集成电路设计、封装、制造、测试类课程及实验教学。
